在LED和MOCVD（金属有机化学气相沉积）外延工艺中，石墨基盘和石墨托盘是关键部件。这些石墨制品具有高纯度、高导热性、耐高温和良好的化学稳定性，能够显著提升外延层的质量和生产效率。弘信新材石墨作为国内先进的石墨解决方案专家，拥有多年的石墨盘加工经验。可完全匹配Veeco,AIXTRON,Thomas Swan等设备。GaN外延石墨托盘、蓝宝石衬底承载盘

产品特性

高纯度材料：采用高纯石墨制成，自有纯化纯度高达99.9%6N以上，确保在高温环境下不污染外延层。

高导热性：优异的导热性能，能够快速传导热量，保证外延层的均匀生长。

耐高温：可在高达2200°C的温度下稳定使用，适用于MOCVD和LED外延工艺。

化学稳定性：具有良好的抗腐蚀性，即使在高温和化学反应环境中也能保持稳定。

定制化服务：可根据客户的具体需求，提供不同尺寸和形状的石墨基盘和托盘。

应用领域

LED外延：用于蓝光、绿光LED芯片的外延生长，提升外延层的质量和效率。

MOCVD工艺：作为反应腔内的关键部件，承载衬底并提供稳定的生长环境。

化合物半导体外延：适用于GaN、SiC等化合物半导体的外延生长。

技术优势

高精度加工：采用高精度加工技术，确保基盘和托盘的表面平整度和尺寸精度。

涂层技术：部分产品表面涂覆碳化硅（SiC）涂层，进一步提高耐腐蚀性和使用寿命。

优化热场分布：通过优化石墨基盘的设计，减少热应力，提升外延层的均匀性和质量

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