关键加工环节
前处理:包括除油、微蚀、活化,确保载板表面洁净无杂质。
电镀沉积:通过电解或化学沉积方式,让金属离子均匀附着在载板表面。
后处理:涵盖清洗、烘干、检测,保障镀层质量达标。
核心工艺要求
镀层精度:厚度公差需控制在 ±0.1μm 内,镀层均匀性误差不超过 5%。
适配细线路需求:针对 IC 载板的微线路(线宽 / 线距<20μm),需避免镀层桥连、空洞。
材质兼容性强:需匹配 ABF 膜、BT 树脂、陶瓷等不同载板基材,不损伤基材性能。
主流镀层类型及用途
铜镀层:核心导电层,用于线路互联,厚度通常 1-5μm,要求高导电性和附着力。
镍镀层:中间阻挡层,防止铜扩散,厚度 0.5-2μm,提升后续镀层结合力。
金镀层:表面焊接 / 键合层,用于芯片键合或引脚焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、软金(易键合)。
锡镀层:低成本焊接层,替代部分金镀层,厚度 1-3μm,要求无针孔、可焊性好。
通讯载板电镀加工工艺流程
前处理:包括对载板进行激光钻微导通孔、去钻污等操作,然后用化学镀铜或碳直接金属化工艺等进行初级金属化,形成一层薄的导电晶种层,为后续电镀做准备。
图形电镀:在经过前处理的载板上,通过光刻技术形成图形,然后进行电镀,在线路 / 焊盘区域电镀厚铜,通常厚度在 5-20μm,以实现电流传输与芯片键合支撑。
表面处理电镀:根据需求在载板表面电镀镍、钯、金等镀层,如采用 ENEPIG/ENIG 工艺,提升焊盘的抗氧化性与键合可靠性。
后处理:电镀完成后,进行清洗、烘干等操作,去除表面残留的电镀液和杂质,然后对镀层进行检测,如检测镀层厚度、附着力、孔隙率等,确保产品质量符合要求。

