IC 载板电镀加工是半导体封装领域的核心工艺,专为 IC 载板(如 ABF 载板、BT 载板)沉积高精度金属镀层,核心作用是实现芯片与基板的可靠电连接、提升散热与抗腐蚀性能。
主流镀层类型及用途
铜镀层:核心导电层,用于线路互联,厚度通常 1-5μm,要求高导电性和附着力。
镍镀层:中间阻挡层,防止铜扩散,厚度 0.5-2μm,提升后续镀层结合力。
金镀层:表面焊接 / 键合层,用于芯片键合或引脚焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、软金(易键合)。
锡镀层:低成本焊接层,替代部分金镀层,厚度 1-3μm,要求无针孔、可焊性好。
通讯载板电镀加工常见镀层类型及作用
铜镀层:是通讯载板中主要的导电层,用于线路互联,其厚度通常根据具体需求在 1-20μm 之间,要求具有高导电性、良好的附着力和抗电迁移性能,以保证信号的传输和载板的长期可靠性。
镍镀层:常作为中间阻挡层,防止铜扩散,同时提高后续镀层的结合力,厚度一般在 0.5-2μm。
金镀层:主要用于表面焊接 / 键合层,如芯片键合或引脚焊接,具有良好的导电性、抗腐蚀性和可焊性,厚度通常在 0.1-1μm,可分为硬金和软金,硬金耐磨性好,软金易键合。
锡镀层:是一种低成本的焊接层,可替代部分金镀层,用于载板的表面焊接,厚度一般在 1-3μm,要求无针孔、可焊性好。
半加成工艺载板电镀是一种用于制造高精度电子载板的工艺方法,在半导体封装等领域应用广泛。以下是关于它的详细介绍:
工艺原理:半加成法(SAP)的核心是通过 “逐步沉积铜层” 形成电路。先在绝缘基板表面制备超薄导电层,即种子层,再通过光刻技术定义线路图形,对图形区域电镀加厚铜层,去除多余部分后形成完整电路。改良型半加成法(mSAP)则是在基板上预先贴合 3-9μm 的超薄低轮廓铜箔作为基铜,再进行后续操作。
工艺流程
基材准备:使用表面平整的超薄铜箔基板或无铜基材,如 1-2μm 厚铜层的基板或 ABF 薄膜等。
化学沉铜:通过化学沉积在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄铜层,作为导电基底,即种子层。
图形电镀铜:对露出的种子层区域进行电镀加厚,使线路达到设计厚度,通常至 5-15μm,形成导线主体。
去胶与蚀刻:移除光刻胶或干膜,然后蚀刻掉未被电镀覆盖的薄种子层铜,由于种子层厚度极薄,蚀刻侧蚀极小。
表面处理:进行沉金、OSP、沉锡等表面处理,以满足后续封装和焊接等工艺的要求。

